• 使用均勻光源的「照度模式」（Irradiance Mode） 符合ASTM E1021

• 取代传统聚焦小光源，可以测试等级光电子检测器。

• 均势光斑可以克服色散差与像差的问题，可准确测量得EQE曲线

• 可搭配多种探针系统，实现非破坏性的快速测试。

• 整合光学与测试系统，提高系统搭建效率。

• 一体式自动化测试软件，自动光谱保存与检测，工作效率高。

• 測試特性：

– 环境效率 EQE

– 光譜回應 SR

– IV 曲线检测

– NEP 光谱检测

– D* 光谱检测

– 噪声-电流-频率响应图（A/Hz -1/2 ; 0.01Hz~1,000Hz）

– Flicker noise, Johnson Noise, Shot noise 分析

定制化光斑尺寸与光强度

光焱科技APD-QE光谱仪量子效率检查系统在光束直达25mm光束尺寸、工作距200mm条件下检查，可以达到光强度与光均强度如下。在波长530nm时，光强度可以达到82.97uW/(cm 2 )。

定量控制功能

使用定量子数控制模式（CP控制模式），子数变化可以 < 1%

统一系统与探针整合

可量測	可客裂解
1.最终光強校正	．客化暗箱
2.光谱响应测定	．XYZ轴位移平台
3.外部量子效率（EQE）	．定制探针台整合服务．
4.NEP 光譜
5.D*光譜
6.噪音-电流-频率響應图(A/Hz -1/2 )
7.Flicker noise, Johnson Noise, Shot noise 分析
8.IV 曲线测试 ．不同光IV 曲线测试 ．定电流/电压，电压/电流间变化测试 ．照光条件下

　　APD-QE 系统由其出色的光学系统设计，可以组成多种探针台。全波长光谱仪的所有光学元件都集成在精巧的系统中。单色光学仪引到探针台遮光罩盒。图像显示了 MPS-4-S 基本探针台组件，带有 4 英寸真空吸入盘和 4 个带有低噪音三轴电子的探针微定位器。

　　集成探针台显示微镜，手动滑动切换到被测试设备的位置。使用滑动条件后，单色光源器被「固定」在设计位置。显示微图像可以显示于屏幕上，方便用户进行良好的连接。

可客制化整合多种探针与遮光暗箱

A. 定制化隔离遮光箱。
B. 由于先进的PD估算响应速度，所以有效面积就要小（降低容量效率），因此，有很多需要整合探针台的需求。
C. 可整合不同的半导体分析仪器如4200或E1500。